主要特点：新型的紫外波段传感器，直接测量GAN层温度（替代传统的晶座测温方法）专用于GAN基外延生长工艺；
技术参数：
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UV400,UVR400 |
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温度范围 |
650 to 1300 °C |
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波长 |
383-410 nm |
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发射率ε |
0.001-1.000 |
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响应时间 |
1µs |
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精度 |
≤1000°C，3°C；＞1000°C，测值的0.3%； |
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漂移 |
测值的0.1%+0.1°C |
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反射率测试（仅限UV400R） |
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测量范围 |
0 … 100% |
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测量速度 |
1000HZ |
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波长 |
635 nm ± 5 nm |
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精度 |
量程2% |
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重复性 |
量程的0.5% |
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工作距离 |
100mm |
